出处：按学科分类—综合性图书 河北人民出版社《中国辞书辞典》第154页（213字）
《电子工业技术词典》编辑委员会编，国防工业出版社1977年2月第1版。10．8万字，印2．2万册。收词目348条。包括专用工艺设备与净化技术两部分。其中专用工艺设备部分包括：真空设备、电子束、离子束、激光加工设备、真空镀膜设备、排气设备、加热设备、焊接设备、光刻和掺杂设备、材料和零部件制造设备、分析测试设备、例行试验及其他设备等节。适用于有关专业的技术人员和大专院校师生。