吴德馨

出处：按学科分类—历史、地理 广东人民出版社《中国专家大辞典·广东卷》第37页（397字）

【介绍】：

科学技术部学部委员。

半导体器件与集成电路专家。女，1936年12月出生，河北乐亭人。中国科学院微电子中心主任、研究员。1961年清华大学无线电电子学系半导体专业毕业。

主要贡献：在学部委员王守觉、王守武和林兰英先生的指导下，在国内首先研制成功半导体平面型高速开关晶体管；在介质隔离数字集成电路和高阻抗运算放大器线性电路的研制中，解决了许多关键问题：研制成功N沟MOS₄K位动态随机存贮器，在国内首先采用正性胶光刻等技术，使存贮的动态保持时间达到高水平；研制成功16K位动态随机存贮器，开发成功双层多晶硅和差值氧化工艺，独创了检测接触孔内氧化层是否腐蚀干净的露点法；研制成功64K位动态随机存贮器，自主研究开发成功3微米CMOS大规模集成电路生产全套工艺技术。(1992年新增学部委员)