T005831 气相光刻技术

书籍:中国图书大辞典:1949-1992第15册工业技术(上) 更新时间:2018-11-09 19:29:43

出处:按学科分类—综合性图书 湖北人民出版社《中国图书大辞典:1949-1992第15册工业技术(上)》第601页(161字)

韩阶平等着。

海洋出版社1990年3月版。10万字。分5部分:一、气相法加工SiO2图形;二、金属膜的气相腐蚀工艺;三、无显影气相光刻技术,不同光源和不同抗蚀剂的无显影光刻特性及原理;四、利用各种粒子对SiO2表面改性进行图形加工的方法;五、新型光刻胶及无显影光刻催化剂。

分享到: