T005849 外延生长技术

书籍:中国图书大辞典:1949-1992第15册工业技术(上) 更新时间:2018-11-09 19:32:24

出处:按学科分类—综合性图书 湖北人民出版社《中国图书大辞典:1949-1992第15册工业技术(上)》第603页(181字)

杨树人等编着。

国防工业出版社1992年7月版。40.5万字。

介绍半导体外延生长技术。共12章。基本内容是:外延生长概述,衬底的制备,气相外延生长,硅气相外延生长,硅气相外延的发展,砷化镓气相外延生长,金属有机化合物气相外延生长,液气相外延生长,固相外延生长,分子束外延生长,其他外延生长技术,异质外延生长技术。

分享到: