T005932 微细加工技术

书籍:中国图书大辞典:1949-1992第15册工业技术(上) 更新时间:2018-11-09 19:44:49

出处:按学科分类—综合性图书 湖北人民出版社《中国图书大辞典:1949-1992第15册工业技术(上)》第613页(296字)

蒋欣荣编。

电子工业出版社1990年6月版。35万字。系统地介绍利用电子束、离子束、光子束(包括激光束、紫外线、远紫外线、X射线)、原子束、分子束、等离子体、超声、微波、化学和电化学等手段,对不同材料进行各种光刻、刻蚀、制膜、掺杂、退火和材料改性,以及切割、焊接、打孔等微细加工的原理、方法和工艺过程;同时还介绍这些微细加工技术在大规模和超大规模集成电路、太阳电池、集成光路、分子电路、超导器件、声表面波器件、各种光电器件和医用传感器,以及其他高精度电子零件和精密机械零件等领域的广泛应用。系高等学校工科电子类专业全国统编教材。

章末附有习题。

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