出处：按学科分类—综合性图书 湖北人民出版社《中国图书大辞典：1949-1992第15册工业技术(上)》第610页（195字）
庄同曾等编。
电子工业出版社1987年10月版。118．4万字。
分16章，内容包括：单晶生长与衬底制备；外延生长；热氧化；掺杂；化学气相淀积(CVD)；完美晶体器件工艺；掩模制造；光刻；接触与互连；CAD－工艺模拟和电路分析；微电子测试图形；组装技术；测试；集成电路的可靠性；理化分析；集成电路工业化生产的管理。
书后还有常用技术数据的附录。