T005732　准分子激光微细加工技术

出处：按学科分类—综合性图书 湖北人民出版社《中国图书大辞典：1949-1992第15册工业技术(上)》第591页（137字）

张玉书等编着。

吉林大学出版社1990年10月版。21．2万字。

对准分子激光微细加工技术基础、应用实例及前景展望等作概要介绍，内容包括微细加工技术概念、准分子激光器、表面处理与掺杂、激光CVD技术、激光曝光技术、激光刻蚀等。