T005798 半导体材料及其制备

出处:按学科分类—综合性图书 湖北人民出版社《中国图书大辞典:1949-1992第15册工业技术(上)》第597页(265字)

S.P.凯勒主编。

罗英浩等译。冶金工业出版社1986年11月版。105.4万字。共14章,4部分:晶体材料的性质、制备、表面和其他半导体材料。

第一部分3章,介绍半导体材料的非本征性质和晶锭材料所出现的缺陷特性。第二部分7章,介绍半导体材料的制备方法,涉及离子注入与晶体生长方法,后者包括晶锭生长、气相外延、溅射法晶体生长、固相外延和分子束外延。第三部分2章,介绍半导体的表面物理和有关技术,以及钝化和绝缘。第四部分3章,介绍与非晶态半导体、稀土磁性半导体和有机半导体的有关知识。

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