T005849　外延生长技术

出处：按学科分类—综合性图书 湖北人民出版社《中国图书大辞典：1949-1992第15册工业技术(上)》第603页（181字）

杨树人等编着。

国防工业出版社1992年7月版。40．5万字。介绍半导体外延生长技术。共12章。

基本内容是：外延生长概述，衬底的制备，气相外延生长，硅气相外延生长，硅气相外延的发展，砷化镓气相外延生长，金属有机化合物气相外延生长，液气相外延生长，固相外延生长，分子束外延生长，其他外延生长技术，异质外延生长技术。