T005851 半导体器件制造工艺常用数据手册

书籍:中国图书大辞典:1949-1992第15册工业技术(上) 更新时间:2018-11-09 19:32:46

出处:按学科分类—综合性图书 湖北人民出版社《中国图书大辞典:1949-1992第15册工业技术(上)》第603页(226字)

刘秀喜、高大江编。

电子工业出版社1992年9月版。97万字。

内容有:物理常数、常用元素、工艺质量分析、器件可靠性、半导体检验、化学原理表面钝化、腐蚀剂、工艺配方、离子注入、掩模版、光致抗蚀剂、半导体材料、杂质及扩散源、金属材料、纯水、高纯气体、高纯化学试剂、玻璃材料、塑料、陶瓷材料、电热材料、温度测量、洁净室标准、工艺安全、器件命名方法、常用数学表、管壳外形标准化等。每一部分数据都以表格形式绘出。

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