T005905 集成电路制造技术——原理与实践

书籍:中国图书大辞典:1949-1992第15册工业技术(上) 更新时间:2018-11-09 19:40:50

出处:按学科分类—综合性图书 湖北人民出版社《中国图书大辞典:1949-1992第15册工业技术(上)》第610页(195字)

庄同曾等编。

电子工业出版社1987年10月版。118.4万字。

分16章,内容包括:单晶生长与衬底制备;外延生长;热氧化;掺杂;化学气相淀积(CVD);完美晶体器件工艺;掩模制造;光刻;接触与互连;CAD-工艺模拟和电路分析;微电子测试图形;组装技术;测试;集成电路的可靠性;理化分析;集成电路工业化生产的管理。

书后还有常用技术数据的附录。

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