干涉仪基本光路

出处：按学科分类—工业技术 企业管理出版社《计量专业工程师手册》第149页（1567字）

在几何量计量中，干涉仪的应用十分广泛。利用各种干涉仪可以测量长度、角度、表面粗糙度等。干涉仪分为接触式干涉仪和非接触式干涉仪。在目前使用的干涉比较仪中，基本上是采用迈克尔逊干涉的原理。

1．迈克尔逊干涉仪

迈克尔逊干涉仪的干涉原理如图3．4－17所示，M₁和M₂是两块平面反射镜，G₁和G₂是两块平行平面玻璃板，G₁、G₂的厚度及折射率完全一样。G₁为分光镜，G₂为补偿镜，在G₁的第2个表面g还镀有析光膜，使透过的光能和反射的光能大致相等。

图3．4－17 迈克尔逊干涉仪原理图

从光源S发出的光由分光镜分为两束，并分别被M₁和M₂反射。M₁可以沿着平行于光轴的精密导轨移动，M₂可以借助于微调螺钉调整其角度，精细地调整它们的相互位置，可形成平板式或楔形平板式干涉系统，分别形成同心环干涉条纹和平行条纹。

2．非接触式干涉仪光路原理

图3．4－18为非接触式干涉仪光路原理图。基本光路为迈克尔逊干涉仪原理。其中光源1是单色光源，采用的是镉光谱灯，有三条谱线。参考镜10相当于迈克尔逊干涉仪中的M₂，被测块规11，平晶工作台相当于M1。

1．光源 2．聚光镜 3．反射镜 4．狭缝光阑 5．光源调整旋 6．聚光镜 7．色散棱镜 8．补偿板 9．分光板 10．参考反射镜 11．被测块规 12．平晶工作 13．物镜 14．狭缝光阑 15．目镜

图3．4－18 非接触式干涉仪光路原理

【参考文献】：

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