出处：按学科分类—综合性图书 河北人民出版社《中国辞书辞典》第100页（214字）
张景钦、马义元编订，科学出版社1983年1月第1版。92．3万字，印6750册。共收词汇约3万条。内容包括真空科学、真空技术、表面物理、薄膜物理、固体物理以及相关的电子学、机械、低温、原子能技术、宇航、冶金、机械、化工和轻工、食品加工等。本书日语固有词汇的标音用平假名标记，外来语用片假名标记。书末附有日文汉字词首索引。可供从事真空专业的生产、教学、科研人员和翻译工作者查阅。