出处:按学科分类—历史、地理 广东人民出版社《中国专家大辞典·广东卷》第309页(715字)

【介绍】:

教授。

男,1933年10月出生,广东大埔人。中山大学物理系教授,全国计量学会光辐射委员会理事。享受国务院特殊津贴的有突出贡献专家。中山大学毕业。

主要贡献:曾进行“杂质在半导体Si和Ge单晶中的扩散、短波灵敏度硅光电探测器”等多个项目研究。在激光与硅中杂质相互作用研究方面发现P型硅单晶转化为N型效应,其成果获广东省高教优秀科技成果奖;《LPCVD法制备a-Si,A-Sib和Uc-Si薄膜特性、掺杂效应和氢化效应的研究》,获广东省高校科技进步二等奖;“高分子湿敏电容ZC-2型”被国家科委评定为1991年度国家级新产品。

主要着述:《半导体器件物理》(合着《中山大学出版社》1988年版),《LPCVDa-Si薄膜的缺陷补偿和掺杂》, 《LPCVD法制备硼掺杂硅薄膜特性及氢化》,“Composition Oxidation and Chemical Etching Properties of a New Amorphous Silicon-Boron Thin Film”(《一种新的掺硼硅薄膜淀积氧化和化学腐蚀特性》),“Hydrogenation of Low-Preswre Chemical-Vapor-Deposition Silicon Thin Films”(《低压化学汽相淀积硅薄膜的氢化》),“Doped Microcrystalline Silicon Produced by LPCVD”(《用低压化学汽相淀积法制备的掺杂微晶硅》)等20余篇。

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