T000290 化学气相淀积与无机新材料

出处:按学科分类—综合性图书 湖北人民出版社《中国图书大辞典:1949-1992第15册工业技术(上)》第33页(136字)

孟广耀编着。

科学出版社1984年4月版。17万字。详细叙述化学气相淀积的基本原理和操作工艺,讨论淀积过程热力学、动力学、表面过程机理以及生长层质量与淀积参数的关系等问题。介绍了化学气相淀积法在新材料、新技术领域中的应用。

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