T005805 力学量敏感器件及其应用

出处:按学科分类—综合性图书 湖北人民出版社《中国图书大辞典:1949-1992第15册工业技术(上)》第598页(219字)

德芳等编着。

科学出版社1987年8月版。24.8万字。共11章,分5个部分,内容包括:与力学量敏感器件有关的物理、力学基础理论知识;力学量敏感器件的设计方法、工艺参数选择、硅弹性模片制作;器件的标定和温度补偿,以及器件制作过程中的特殊工艺;以比较先进的典型产品为例,简明介绍力学量敏感器件的结构和正在兴起的集成敏感器件;力学量敏感器件的典型应用等。收入“半导体敏感器件及其应用丛书”。

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