微电子技术

出处：按学科分类—经济 中国科学技术出版社《市场大辞典上册》第369页（304字）

研制、生产微小型电子元器件、电路和系统的技术，一般还包括集成超导器件等方面。

特点是尺寸小、重量轻、可靠性高、成本低，使电子系统的功能大大提高。微电子技术是以大规模集成电路为基础发展起来的新技术领域，它由最初只包含几个、几十个元器件的集成电路，发展到目前在一个小硅片上制作几十万个元件，其发展速度惊人：集成电路连线越来越细，电路越来越复杂，每个元器件或单元电路所占区域越来越小。在极小的结构内，利用各种电子效应制作微型的电子电路或系统，这种复杂的微细加工工艺，在科技领域是一项重大突破。尤其是集成电路发展到大规模、超大规模阶段，微电子技术引起了人们更大的兴趣。