薄膜的获得方法
书籍：方法大辞典
出处：按学科分类—自然科学总论 山东人民出版社《方法大辞典》第289页（268字）
现今薄膜材料受到广泛的重视，常用的制备方法(物理方法)有三大类：第一类方法是真空蒸发法，其基本原理是在真空室中，把欲制成薄膜的材料加热蒸发，使其淀积在一定的基片上；第二类方法是溅射法，其基本原理是在抽成真空(达到一定真空度)的腔体中充以一定量的隋性气体，这些气体在高压作用下电离并轰击用欲制成薄膜的材料做成的靶(对于多种材料合成的薄膜，则可用多个靶)，发生溅射出来的材料分子团淀积在一定的基片上，尔后需要经恰当的热处理；第三类方法是分子束外延。以此，还有用等离子体化学反应制备的方法等