典型结构与产品介绍
出处：按学科分类—工业技术 北京理工大学出版社《新编液压工程手册上册》第1375页（1482字）
图22．2－10为上海液压件三厂的DMY－A型电液步进马达。图22．2－11为日本富士通公司的1－SSSS型电液步进马达。都属于典型的四边阀控轴向柱塞马达及螺杆—螺母副反馈机构型式。
图22．2－10 DMY－A型电液步进马达
1－步进电机；2、3－齿轮；4－四边滑阀；5、6－螺杆螺母副；7－柱塞腔；8－配油盘；9－外壳；10－柱塞；11－斜盘；12－主轴
图22．2－11 1－SSSS型电液步进马达
1－SSSS型电液步进马达采用了滚珠丝杆—螺母副，使灵敏度和控制精度有所提高；增加了液压马达的柱塞数，减少了斜盘的倾角和柱塞直径，缩短了缸体长度。这样就将工作压力提高到14MPa，增加了输出转矩和功率。并且输出转矩的脉动较小。为缓解滑阀快速启闭引起的液压冲击，还在滑阀与液压马达的通道上设置了溢流阀。
图22．2－12所示为美国道蒂公司的电液步进马达。其中图(a)为示意图，图(b)为工作原理方框图，图(c)为去掉步进电机及电位器外罩后的外观图，图(d)为结构图。这种结构为伺服阀式电液步进马达。其工作原理是：步进电机带动电位器旋转，把脉冲信号变成电压信号。电位器的触点装在由液压马达轴带动的框架内，从而实现位置电反馈。框架外层装有电刷，以便将偏差信号(电压)引到直流放大器的输入端。偏差电压经放大后输入伺服阀线圈，伺服阀控制液压马达。这种步进电液马达工作压力为14MPa。
图22．2－12 道蒂公司的电液步进马达
1－步进电机；2－电位器；3－触头；4－电刷；5－伺服放大器；6－伺服阀；7－液压马达
图22．2－13为东京计器公司的电液步进缸。与图22．2－8相比，增设了一个平衡活塞4，其作用是防止空心活塞杆内腔的压力向右推螺杆。编码器装在缸头。
图22．2－13 日本东京计器公司的电液步进缸
1－编码器；2－齿轮副；3－三通阀芯；4－平衡活塞；5－阀体；6－螺杆；7－螺母；8－活塞；9－活塞杆；10－缸体
图22．2－14为瑞士SIG公司的LV系列电液步进缸。其最大工作压力达30MPa，标准缸径Φ40～200mm，最大行程1200mm。
图22．2－14 瑞士SIG公司LV系列电液步进缸
1－活塞；2－缸体；3－阀芯
国内产品主要有北京机床研究所的Y18－2型电液步进马达，上海液压件三厂的DMY－A型液压马达和北京钢铁设计研究总院研制的电液步进缸(图22．2－8)这些产品的主要性能指标分别列表22．2－2、22．2－3和22．2－4。
表22．2－2 Y18－2型电液步进马达性能参数
表22．2－3 DMY－A型电液步进马达性能参数
表22．2－4 北京钢铁设计研究总院研制的电液步进缸性能参数
