沈天慧

出处：按学科分类—历史、地理 广东人民出版社《中国专家大辞典·广东卷》第42页（348字）

【介绍】：

中国科学院学部委员。

分析化学家，半导体化学家。女，1923年3月出生，浙江杭州人。

七机部七七一所研究员。

1949年上海大同大学毕业。

主要贡献：长期从事分析化学和半导体化学的研究工作。直接参加硫酸根的测定、包头含稀土铁矿的全分析、铜矿的全分析、纯硅的制取，纯硅中杂质的分析等科学研究。

采用无坩锅熔法拉出了单晶硅。60年代中期至70年代中期，开展磁选片存贮器、玻璃半导体记忆材料等的研究工作，达到当时国内先进水平。

70年代中期以来参加了MOS大规模集成电路的研究，特别是薄氧化层的研究，为超大规模集成电路的工艺研究奠定了基础。发表论文20余篇。对我国分析化学和半导体化学的发展做出了贡献。