氮化硅陶瓷

出处：按学科分类—工业技术 企业管理出版社《精细化学品制备手册》第579页（194字）

制法

将硅粉和CrF₃·3H₂O混合，压制成型，装入氮化炉中，通氮加热，于1150～1200℃预氮化，获得一定强度的坯体后，用机床加工成所需部件，然后在1350～1450℃下进一步氮化18～36h，直到全部生成Si₃N₄为止，得氮化硅陶瓷。