动态流导法真空标准装置

出处：按学科分类—工业技术 企业管理出版社《计量专业工程师手册》第216页（1793字）

动态流导法又称小孔法或泻流法。此法的优点在于减少了被校真空计规管的吸放气效应的影响，能使下限延伸到10^－7Pa，是目前高真空和超高真空范围的主要校准或定度手段。它是由动态平衡产生已知压力来对真空计进行校准或定度的方法。图4．9－4为单级动态流导法装置的原理示意图。由可调针阀引入到校准室的流量为Q的气体通过流导为C的小孔到抽气室，最后被抽速为S的真空泵抽走。当进入校准室的气体量与通过小孔被抽除的气体量相等时，校准室内有一平衡压力p，相应在抽气室有一平衡压力量。若S〉〉C，则p〉〉时，可根据气体等温连续性原理得到p的计算公式为：

p=Q／C

图4．9－4 单级动态流导法装置原理示意图

小孔流导C值，在分子流条件下可根据其几何尺寸算出。由针阀调节的不同流量Q(用流量计测得)，在校准室内得到不同的p值，从而可对被校真空计进行校准或定度。通常要求泵的抽速S远比小孔的流导C值要大，以减少抽速测定值的误差影响及抽速的波动影响。采用多级小孔分流的设计则可扩大校准下限。动态流导法只适用于分子流条件，即气体分子之间碰撞几乎不存在，这也是该方法校准上限的限制因素。

我国建立了全玻璃动态流导法真空标准装置，其计量范围为(10^－7～10^－2)Pa，其准确度在(10^－6～10^－2)Pa时为5～3%，在10^－7Pa时为10%。

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